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氣體質(zhì)量流量傳感器分類
發(fā)布時(shí)間:2022-06-20 07:29:20

根據(jù)關(guān)鍵元件的工作方式的不同,氣體質(zhì)量流量傳感器大致可以分為科里奧利流量傳感器;基于熱學(xué)原理的質(zhì)量流量傳感器:包括熱分布型、熱損失型和熱脈沖型;差壓式質(zhì)量流量傳感器等。下面對這些傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)特點(diǎn)做簡單的介紹。

(1)熱式質(zhì)量流量傳感器

熱式傳感器的工作原理是:通過外加熱源將傳感器的感溫電阻加熱使其溫度高于環(huán)境溫度,當(dāng)有氣流通過時(shí),氣流的運(yùn)動(dòng)會(huì)帶走感溫電阻上的熱量,使得感溫電阻的溫度降低,通過測量感溫電阻溫度的變化來推算出所求的氣體質(zhì)量流量,即通過傳感器將氣流的變化轉(zhuǎn)換為溫度的變化。

(2)科里奧利式

科里奧利式質(zhì)量流量傳感器是對科里奧利力的具體運(yùn)用,當(dāng)有氣體流經(jīng)一個(gè)旋轉(zhuǎn)的管道時(shí)會(huì)在管道內(nèi)形成和質(zhì)量流量相關(guān)的科里奧利力,通過測量旋轉(zhuǎn)管道中氣流產(chǎn)生的科氏力就可以直接獲得氣體的質(zhì)量流量。科氏傳感器由于本身工作原理的特殊性具有測量準(zhǔn)確性高,復(fù)現(xiàn)性高,測量量程大,同時(shí)也可以測量各種性質(zhì)的液體流量等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于石油、化工、制藥等工業(yè)領(lǐng)域,但是科氏傳感器存在重量和體積較大、對外界的震動(dòng)干擾較為敏感等缺點(diǎn),應(yīng)用領(lǐng)域有一定的限制。

(3)壓差式

壓差式流量傳感器一般是由一對安置于一個(gè)縮小口徑兩側(cè)的節(jié)流件組成的傳感器,通過測量兩側(cè)的壓力差來獲得被測流量的體積流量,再通過體積流量和質(zhì)量流量之間的轉(zhuǎn)化關(guān)系最終獲得流量的質(zhì)量流量。壓差式流量傳感器是質(zhì)量守恒定律和能量守恒定律的具體應(yīng)用。從傳統(tǒng)的孔板式流量計(jì)到現(xiàn)在的塔型流量計(jì),壓差式流量計(jì)己經(jīng)有上百年的發(fā)展歷史,也被廣泛應(yīng)用于工業(yè)、能源、交通、環(huán)境等各個(gè)領(lǐng)域。壓差式流量傳感器的不斷優(yōu)化不僅代表了工業(yè)水平的不斷進(jìn)步,更代表了人類對科學(xué)技術(shù)的更高追求,相信隨著微電子和MEMS行業(yè)的不斷發(fā)展,壓差式流量傳感器一定有更廣闊的發(fā)展空間。

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